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127.036 IP-ICT

Modellprädiktive Regelung für den Wafer-Transport in Dünnfilmbeschichtungsanlagen unter Verwendung kombinatorischer Optimierung

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Abstract

Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.

Schlüsselwörter

Participants

Wissenschaftliche Leitung

OST - Ostschweizer Fachhochschule

Wirtschaftspartner

Evatec AG

Kontaktperson

OST - Ostschweizer Fachhochschule

Détails du projet

Office de recherche
INNOSUISSE
Statut du projet
In Bearbeitung
Type de projet
Forschungsprojekt
Date de début
2025-10-13
Date de fin
2027-10-12
Coûts totaux approuvés
CHF 562350.00
Section
50 ICT
Domaine politique NABS
Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

  • T125 Automation, robotics, control engineering 100.0%