127.036 IP-ICT

Modellprädiktive Regelung für den Wafer-Transport in Dünnfilmbeschichtungsanlagen unter Verwendung kombinatorischer Optimierung

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Abstract

Im Projekt wird eine Anlagensteuerung für Dünnfilm-Beschichtungsanlagen entwickelt. Es wird ein Algorithmus entwickelt, der mit Hilfe Modellprädiktiver Regelung Fertigungsschritte in eine optimale Reihenfolge bringt, um Anlagenstillstände zu vermeiden und den Durchsatz der Anlage zu maximieren.

Schlüsselwörter

Beteiligte

Wissenschaftliche Leitung

OST - Ostschweizer Fachhochschule

Wirtschaftspartner

Evatec AG

Kontaktperson

OST - Ostschweizer Fachhochschule

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: In Bearbeitung
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2025-10-13
Enddatum: 2027-10-12
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 562350.00
Sektion: 50 ICT
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T125 Automation, robotics, control engineering 100.0%