51074.1 IP-ENG

Résumé

SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse

Textes supplémentaires

Abstract

Schlüsselwörter

Participants

Wissenschaftliche Leitung

inspire AG für mechatronische Produ ktionssysteme und Fertigungstechnik

Wissenschaftliche Leitung

ETHZ - Eidgenössische Technische Ho chschule Zürich

Wirtschaftspartner

PW WaferTec GmbH

Kontaktperson

PW WaferTec GmbH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2021-10-31
Date de fin: 2023-10-31
Coûts totaux approuvés: CHF 614163.11
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

T210 Mechanical engineering,hydraulics,vacuum techn.,vibration and acoustic eng. 100.0%