51074.1 IP-ENG

Zusammenfassung

SiC-Si-Pro: Prozessverbesserung für das Diamantdrahtsägen von Siliziumcarbidwafern und grossen Siliziumwafern für Halbleiter und auf Basis wissenschaftlicher Erkenntnisse

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Abstract

Schlüsselwörter

Beteiligte

Wissenschaftliche Leitung

inspire AG für mechatronische Produ ktionssysteme und Fertigungstechnik

Wissenschaftliche Leitung

ETHZ - Eidgenössische Technische Ho chschule Zürich

Wirtschaftspartner

PW WaferTec GmbH

Kontaktperson

PW WaferTec GmbH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2021-10-31
Enddatum: 2023-10-31
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 614163.11
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T210 Mechanical engineering,hydraulics,vacuum techn.,vibration and acoustic eng. 100.0%