42449.1 IP-ENG

Zusammenfassung

ThreeFree

Weitere Texte

Abstract

The goal is to develop drift free and stress free ceramic capacitance diaphragm gauges with lead free glass sealing and even better performance than today's state of the art for their core business customers in the semiconductor processing industries, in particular for dry etching processes.

Beteiligte

Gurdial Blugan

Kontaktperson

gurdial.blugan@empa.ch

EMPA Material Science and Technology Gurdial Blugan Überlandstrasse 129 8600 Dübendorf ZH CH

Urs Waelchli

Wirtschaftspartner

urs.waelchli@inficon.com

INFICON HOLDING AG Urs Waelchli Hintergasse 15B 7310 Bad Ragaz SG CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2020-12-31
Enddatum: 2023-03-31
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 768879.97
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T120 Systems engineering, computer technology 100.0%