44552.1 IP-ENG

Résumé

Technological protocol development for production of 3D structures in light sensitive polymers with Sub-Wavelength Holographic Lithography

Textes supplémentaires

Abstract

Technology of Sub-Wavelength Holographic Lithographyhas (SWHL) has been developed and experimentally verified by Nanotech SWHL. For go-to-the market the technological protocols for 3D structures production in light sensitive polymers will be developed.

Participants

Natasha Ivanova

Wirtschaftspartner

SWHL GmbH Natasha Ivanova Überlandstrasse 29 8600 Dübendorf ZH CH

Ivan Shorubalko

Kontaktperson

ivan.shorubalko@empa.ch

EMPA Ivan Shorubalko Überlandstrasse 129 8600 Dübendorf ZH CH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2020-08-31
Date de fin: 2022-08-31
Coûts totaux approuvés: CHF 579306.41
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

P265 Semiconductory physics 100.0%