44552.1 IP-ENG

Zusammenfassung

Technological protocol development for production of 3D structures in light sensitive polymers with Sub-Wavelength Holographic Lithography

Weitere Texte

Abstract

Technology of Sub-Wavelength Holographic Lithographyhas (SWHL) has been developed and experimentally verified by Nanotech SWHL. For go-to-the market the technological protocols for 3D structures production in light sensitive polymers will be developed.

Beteiligte

Natasha Ivanova

Wirtschaftspartner

SWHL GmbH Natasha Ivanova Überlandstrasse 29 8600 Dübendorf ZH CH

Ivan Shorubalko

Kontaktperson

ivan.shorubalko@empa.ch

EMPA Ivan Shorubalko Überlandstrasse 129 8600 Dübendorf ZH CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2020-08-31
Enddatum: 2022-08-31
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 579306.41
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

P265 Semiconductory physics 100.0%