47997.1 IP-ENG

Résumé

Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Textes supplémentaires

Abstract

We develop a new technology for combining ALD and PVD deposition processes in an innovative, standalone and compact cluster equipment. This will enable the deposition of hybrid thin film systems demonstrated on nano-multilayers with superior mechanical and thermal properties.

Participants

Carlos Guerra

Wirtschaftspartner

Swiss Cluster AG CHE-304.988.353 Carlos Guerra Feuerwerkerstrasse 39 3602 Thun BE CH

Xavier Maeder

Kontaktperson

xavier.maeder@empa.ch

EMPA Xavier Maeder Feuerwerkerstrasse 39 3602 Thun BE CH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2021-10-31
Date de fin: 2023-10-31
Coûts totaux approuvés: CHF 598996.08
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

T150 Material technology 100.0%