47997.1 IP-ENG

Zusammenfassung

Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Weitere Texte

Abstract

We develop a new technology for combining ALD and PVD deposition processes in an innovative, standalone and compact cluster equipment. This will enable the deposition of hybrid thin film systems demonstrated on nano-multilayers with superior mechanical and thermal properties.

Beteiligte

Carlos Guerra

Wirtschaftspartner

Swiss Cluster AG CHE-304.988.353 Carlos Guerra Feuerwerkerstrasse 39 3602 Thun BE CH

Xavier Maeder

Kontaktperson

xavier.maeder@empa.ch

EMPA Xavier Maeder Feuerwerkerstrasse 39 3602 Thun BE CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2021-10-31
Enddatum: 2023-10-31
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 598996.08
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T150 Material technology 100.0%