51003.1 IP-ENG

Résumé

High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Textes supplémentaires

Abstract

Building on a ground-breaking technology platform and strong and successful partnerships, this project aims at developing an etch-resistant and ultra-fast high-precision vacuum sensor, ready to conquer the largest and most demanding customer segment: the semiconductor market.

Participants

Stéphane Kühne

Wirtschaftspartner

VAT Vakuumventile AG CHE-101.861.353 Stéphane Kühne Seelistrasse 1 9469 Haag SG CH

Christofer Hierold

Kontaktperson

hierold@micro.mavt.ethz.ch

ETH Zürich Christofer Hierold CLA H9 / Tannenstrasse 3 8092 Zürich ZH CH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2021-03-31
Date de fin: 2022-09-30
Coûts totaux approuvés: CHF 570127.00
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

T171 Microelectronics 100.0%