51003.1 IP-ENG

Zusammenfassung

High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

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Abstract

Building on a ground-breaking technology platform and strong and successful partnerships, this project aims at developing an etch-resistant and ultra-fast high-precision vacuum sensor, ready to conquer the largest and most demanding customer segment: the semiconductor market.

Beteiligte

Stéphane Kühne

Wirtschaftspartner

VAT Vakuumventile AG CHE-101.861.353 Stéphane Kühne Seelistrasse 1 9469 Haag SG CH

Christofer Hierold

Kontaktperson

hierold@micro.mavt.ethz.ch

ETH Zürich Christofer Hierold CLA H9 / Tannenstrasse 3 8092 Zürich ZH CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2021-03-31
Enddatum: 2022-09-30
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 570127.00
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T171 Microelectronics 100.0%