51355.1 IP-ENG

Résumé

FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors

Textes supplémentaires

Abstract

The proposed project aims to develop pressure sensors for high temperature (650°C) operation. It is based on novel technological approaches developed at CSEM to fabricate a new type of cost-effective MEMS sensors for harsh environments based on silicon carbide.

Participants

Arno Hoogerwerf

Kontaktperson

CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique Arno Hoogerwerf Rue Jaquet-Droz 1 2002 Neuchâtel NE CH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2021-01-31
Date de fin: 2022-04-30
Coûts totaux approuvés: CHF 226734.32
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

T171 Microelectronics 100.0%