51355.1 IP-ENG

Zusammenfassung

FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors

Weitere Texte

Abstract

The proposed project aims to develop pressure sensors for high temperature (650°C) operation. It is based on novel technological approaches developed at CSEM to fabricate a new type of cost-effective MEMS sensors for harsh environments based on silicon carbide.

Beteiligte

Arno Hoogerwerf

Kontaktperson

CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique Arno Hoogerwerf Rue Jaquet-Droz 1 2002 Neuchâtel NE CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2021-01-31
Enddatum: 2022-04-30
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 226734.32
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T171 Microelectronics 100.0%