48336.1 IP-ENG

Résumé

New solutions for fast growing piezoelectric thin film demand for internet of things (IOT)

Textes supplémentaires

Abstract

In the past few years, the industry has realised the potential of piezoelectric MEMS as smart components for a broad range of IoT application, from actuators to sensors. The next generation of piezoelectric thin film requires new deposition techniques for high performance thin films.

Participants

Ramin Matloub

Wirtschaftspartner

ramin.matloub@piemacs.ch

PIEMACS Sàrl CHE-473.787.326 Ramin Matloub Bâtiment C 1015 Lausanne VD CH

Dragan Damjanovic

Kontaktperson

dragan.damjanovic@epfl.ch

EPFL Dragan Damjanovic Station 12 1015 Lausanne VD CH

Détails du projet

Office de recherche: INNOSUISSE
Statut du projet: Abgeschlossen
Type de projet: Forschungsprojekt
Date de début: 2021-02-13
Date de fin: 2022-02-13
Coûts totaux approuvés: CHF 192974.00
Section: 70 Engineering
Domaine politique NABS: Industrielle Produktivität und Technologie

Disciplines de recherche

T171 Microelectronics 100.0%