48336.1 IP-ENG

Zusammenfassung

New solutions for fast growing piezoelectric thin film demand for internet of things (IOT)

Weitere Texte

Abstract

In the past few years, the industry has realised the potential of piezoelectric MEMS as smart components for a broad range of IoT application, from actuators to sensors. The next generation of piezoelectric thin film requires new deposition techniques for high performance thin films.

Beteiligte

Ramin Matloub

Wirtschaftspartner

ramin.matloub@piemacs.ch

PIEMACS Sàrl CHE-473.787.326 Ramin Matloub Bâtiment C 1015 Lausanne VD CH

Dragan Damjanovic

Kontaktperson

dragan.damjanovic@epfl.ch

EPFL Dragan Damjanovic Station 12 1015 Lausanne VD CH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: Abgeschlossen
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2021-02-13
Enddatum: 2022-02-13
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 192974.00
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T171 Microelectronics 100.0%