115.605 IP-ENG

MEMS-basierter Gasdichtesensor

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Abstract

Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.

Schlüsselwörter

Beteiligte

Wissenschaftliche Leitung

OST - Ostschweizer Fachhochschule

Kontaktperson

Natural Color Diamonds GmbH

Wirtschaftspartner

Natural Color Diamonds GmbH

Projektdetails

Forschungsstelle: INNOSUISSE
Projektstatus: In Bearbeitung
Projekttyp: Forschungsprojekt
Startdatum: 2025-01-31
Enddatum: 2026-10-30
Bewilligte Gesamtkosten: CHF 116574.10
Sektion: 70 Engineering
NABS Politikbereich: Industrielle Produktivität und Technologie

Forschungsdisziplinen

T001 Electronics and Electrical technology 100.0%