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23.00467
Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry
Weitere Texte
Abstract
Beteiligte
Kontaktperson
Projektdetails
- Forschungsstelle
- SBFI
- Projektstatus
- In Bearbeitung
- Projekttyp
- Forschungsprojekt
- Startdatum
- 2023-12-31
- Enddatum
- 2027-06-29
- Bewilligte Gesamtkosten
- CHF 681136.00
- Sektion
- EU-Rahmenprogramme EURA
- NABS Politikbereich
- Beziehungen zum Ausland
Forschungsdisziplinen
- Not related to a specific discipline 100.0%